外延片（硅片）腐蝕清洗機

產(chǎn)品簡介
外延片（硅片）腐蝕清洗機手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件；腐蝕工藝自動補藥液，保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性。

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更新時間：2021-06-10

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導(dǎo)體電子設(shè)備

全自動硅片（晶片）超聲波清洗機硅片甩干機單槽分體式超聲波清洗機四槽半自動超聲波清洗機半自動超聲波清洗機全自動陶瓷盤超聲波清洗機硅片擴散超聲波清洗機 MESA/SC晶片清洗設(shè)備晶片腐蝕清洗機外延片（硅片）腐蝕清洗機立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機濕法腐蝕清洗系統(tǒng) 硅材料清洗旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機

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外延片（硅片）腐蝕清洗機

概述：

本機控制模式：手動控制模式、自動控制模式。

主要特點：

清洗規(guī)格：

外延片（硅片）腐蝕清洗機手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件；腐蝕工藝自動補藥液，保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性。

（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定。

藥液供給及補液方式：分體式CDS自動供夜系統(tǒng)；DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；配有分體式廢液回收系統(tǒng)。

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