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半導(dǎo)體超聲波清洗機(jī)在清洗上的優(yōu)勢(shì)

更新時(shí)間:2016-08-25點(diǎn)擊次數(shù):1915
   普通的清洗方法一般不能達(dá)到孔內(nèi),而孔內(nèi)芯料的反應(yīng)生成物及其他污染物會(huì)在后序工藝中會(huì)產(chǎn)生重復(fù)污染。無(wú)論是采用有機(jī)溶劑或是清洗液清洗都容易引入新的污染源,然而利用半導(dǎo)體超聲波清洗機(jī)清洗技術(shù)卻可以實(shí)現(xiàn)無(wú)重復(fù)污染,而且能深入MCP孔內(nèi)的效果。對(duì)不同材料及孔徑的MCP應(yīng)采用頻率、聲強(qiáng)可調(diào)的超聲波進(jìn)行實(shí)驗(yàn),以確定實(shí)際工藝參數(shù)。對(duì)孔徑6~12μmMCP的清洗,當(dāng)媒液為水和乙醇時(shí),可采用空化閾約1/3 W/cm2,聲強(qiáng)10~20 W/cm2,頻率20~120 kHz的超聲波進(jìn)行清洗。表1是同一段不同板號(hào)的MCP采用不同頻率超聲波清洗后表觀及電性能測(cè)試結(jié)果。由檢測(cè)結(jié)果可見(jiàn),對(duì)1μm以下的小顆粒污染物,應(yīng)選用頻率40 kHz以上的超聲波進(jìn)行清洗。
  在半導(dǎo)體超聲波清洗機(jī)(硅片)的清洗過(guò)程中,清洗液的溫度是一個(gè)關(guān)鍵因素。合適的清洗溫度能夠加快油污的去除,得到*的清洗效果。當(dāng)硅片浸到清洗液中,硅片上的油污產(chǎn)生膨脹,油污內(nèi)部以及油污與硅片之間的作用力減弱,溫度越高,油污膨脹越大,這種作用力就越弱,表面活性劑分子越容易將油污撬離硅片表面。同時(shí),溫度的變化可導(dǎo)致膠束本身性質(zhì)和被增溶物在膠束中溶解情況發(fā)生變化。聚氧乙烯型表面活性劑的聚氧乙烯鏈(CH2CH2O)n在水中產(chǎn)生水合作用,與水分子中的氫形成氫鍵。溫度升高,氫鍵減弱,有的甚至斷裂,水合作用減小,膠束易于形成,膠束的聚集數(shù)亦顯著地增加,對(duì)油脂等污染物的增溶量增大,這種情況有利于半導(dǎo)體超聲波清洗機(jī)的清洗。當(dāng)溫度升高到60℃左右時(shí),聚氧乙烯鏈(CH2CH2O)n加速脫水并產(chǎn)生卷縮,使膠束起增溶的空間減小,增容能力下降,清洗液由透明變成乳濁液,這一溫度稱(chēng)做溶液的濁點(diǎn)溫度。只有溫度接近表面活性劑溶液的濁點(diǎn)溫度時(shí),增溶能力zui強(qiáng),因而清洗液的溫度定在60℃比較合理。

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