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硅片甩干機(jī)的工作特點(diǎn)

更新時(shí)間:2016-08-18點(diǎn)擊次數(shù):2979
   硅片甩干機(jī)用于清洗太陽能硅片和半導(dǎo)體硅片,是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,目前主要機(jī)型由四工位,六工位和八工位系列。主要工作過程為噴淋旋轉(zhuǎn)沖洗+離心甩干+氮?dú)饧訜岷娓?,工作特點(diǎn)如下:
  1、硅片甩干機(jī)整個(gè)甩干過程一般只需要5-6分鐘;
  2、設(shè)備的外露面為進(jìn)口的PP板,外形美觀,耐酸氣腐蝕;
  3、工作腔,旋轉(zhuǎn)支架和裝片盒等主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并且表面電化學(xué)拋光處理;
  4、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過精密動(dòng)平衡處理,保證工作時(shí)的平衡性;
  5、采用特種減震器,精密減震和阻尼,保證系統(tǒng)的穩(wěn)定;
  6、硅片甩干機(jī)采用潔凈化處理技術(shù),閥門,接頭和管道采用不銹鋼,PEA高純管件和聚四氟;
  7、采用油壓缸自動(dòng)開門關(guān)門,平穩(wěn)安全可靠;
  8、采用油浴爐或氣體加熱器加熱氮?dú)?,熱量足,溫度穩(wěn)定,加熱溫度實(shí)時(shí)監(jiān)控,并顯示在液晶屏上,并有雙重安全保護(hù);
  9、特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng),全自動(dòng)切換;
  10、頂蓋采用電加熱板輔助加熱,保證頂蓋烘干后不滴水;
  11、硅片甩干機(jī)的工作腔采用靜電控制。

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